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FFU過(guò)濾單元具備的特點(diǎn)

 
**:靈活性。

因?yàn)镕FU過(guò)濾單元是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。

**:可再利用性。

從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三:負(fù)壓通風(fēng)。

這是FFU過(guò)濾單元的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且**。

第四:縮短建設(shè)周期。

使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。

第五:減少運(yùn)行成本。

雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。







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